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CMP设备中国制造，来自天津华海清科 /5P

天津华海清科机电科技有限公司自主研制出国内首台12英寸“干进干出”化学机械抛光（CMP）整机设备并实现产业化推广应用，彻底打破长期以来的国际垄断，有效解决我国在CMP装备与技术领域“卡脖子”问题。

Works Number：248104
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author：杨贵芳
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Number：5P
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2019-08-07Release
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506browse

华海清科自主开发CMP核心技术

2018-6-8 14:40
华海清科自主研制出国内首台12英寸CMP设备

2015-6-8 10:30
国内首台12英寸CMP设备实现产线应用

2015-8-3 10:00
华海清科自主研制的12英寸CMP设备以真机亮相国家“十二五”科技创新成就展

2016-6-3 14:30
华海清科自主研制的12英寸CMP设备实现产业化推广与应用

2019-8-6 16:30